百級無塵室主要的作用就是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈日及溫度,濕度,是產(chǎn)品能夠在意個很好的環(huán)境內(nèi)生產(chǎn)和制造。而按照上的慣例,無塵室的潔凈級別主要是根據(jù)每立方米的空氣當(dāng)中粒子的直徑大于標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量來規(guī)定的。也就是把微粒控制在一個非常小的單位上,在常規(guī)當(dāng)中就是說符合微粒的顆粒在我們常見的灰塵當(dāng)中是小的微乎其微,而對于那些生產(chǎn)上來說,哪怕一點點的,很少很少的灰塵也會產(chǎn)生很壞的負(fù)面影響的,因此在光學(xué)制造商,必然的要求就是無塵。 上百級無塵室的標(biāo)準(zhǔn)的*就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下。當(dāng)前。在芯片生產(chǎn)加工上的無塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于*的,像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)。 進入過濾器無塵車間人員必須穿著無塵服與無塵鞋,并嚴(yán)格按以下順序進入過濾器無塵車間: 1、戴上無塵帽(頭發(fā)不可露出)。 2、戴上無塵口罩。 3、穿著無塵衣(拉上拉鏈后,扣好頸部頭罩)。 4、穿上無塵鞋。 5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。 6、著裝完成照鏡檢查服裝儀容。 7、進入風(fēng)淋室。 8、進入ZC風(fēng)淋室雙門互鎖后自動吹淋,聽從風(fēng)淋室語音提示,擺動身體,吹凈時間15秒。 9、在過濾器無塵室后,動作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。 百級無塵車間送風(fēng)量與換氣次數(shù) 送風(fēng)量計算: 百級垂直層流潔凈室送風(fēng)量=潔凈室斷面面積 0.25m/s 百級水平層流潔凈室送風(fēng)量=潔凈室斷面面積 0.35m/s 亂流(非單向流)潔凈室送風(fēng)量=潔凈室容積 換氣次數(shù)。 《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定 10,000級潔凈室換氣次數(shù)n≥25次/h, 100,000級潔凈室換氣次數(shù)n≥15次/h, 300,000級潔凈室換氣次數(shù)n≥12次/h, 并且要求換氣次數(shù)的規(guī)定應(yīng)根據(jù)熱平衡及風(fēng)量平衡計算加以驗證。 

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